與其他行業(yè)的凈化工程相比,電子廠凈化工程的清潔度和相關(guān)技術(shù)要求較高。在選擇凈化公司時(shí),須找出在凈化行業(yè)有實(shí)力和經(jīng)驗(yàn)的人。
電子工廠凈化工程的設(shè)計(jì)特點(diǎn)是潔凈度等級(jí)高,根據(jù)需要控制風(fēng)量、溫度、濕度、壓差和設(shè)備排氣,并按照設(shè)計(jì)或標(biāo)準(zhǔn)控制潔凈室的照度和橫截面風(fēng)速。此外,這種潔凈室需要非常嚴(yán)格的靜電。其中,對(duì)濕度的要求尤為嚴(yán)重。由于過于干燥的工廠容易產(chǎn)生靜電,導(dǎo)致CMOS集成損壞。一般來說,電子車間的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度應(yīng)控制在50%~60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。此時(shí),它能有效地去除靜電,使人感到舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無(wú)塵車間和磁盤制造車間是電子制造業(yè)潔凈室的重要組成部分。由于在制造和生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和電子產(chǎn)品質(zhì)量的要求是非常嚴(yán)格的,其主要目標(biāo)是控制顆粒和浮塵。同時(shí),嚴(yán)格規(guī)定了環(huán)境的溫濕度、新風(fēng)量和噪聲。
電子廠凈化工程車間噪聲級(jí)(空態(tài))不應(yīng)大于65 dB(A)
垂直流動(dòng)潔凈室的布面比例不應(yīng)小于60%,水平單向流動(dòng)潔凈室不應(yīng)小于40%,否則為局部單向流動(dòng)。
室內(nèi)和室外的靜壓差不應(yīng)小于10 Pa,不同空氣清潔度的非潔凈區(qū)域的靜壓差不應(yīng)小于5P。